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API XD6LS精密激光干涉儀

機(jī)床主要誤差：

圖為：使用XD Laser激光干涉儀實(shí)現(xiàn)多種檢測(cè)需求

API公司XD系列激光干涉儀型號(hào)：

        一維測(cè)量系統(tǒng)XD –1D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        三維測(cè)量系統(tǒng)XD –3D
        五維測(cè)量系統(tǒng)XD –5D標(biāo)準(zhǔn)型&精密型
        六維測(cè)量系統(tǒng)XD –6D 標(biāo)準(zhǔn)型&精密型

良好的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

API公司采用了穩(wěn)定鋼球與絕熱層的雙重定位設(shè)計(jì)，將干涉鏡用高絕熱層與激光器主機(jī)隔開，從而避免了干涉鏡受熱變形，用穩(wěn)定鋼珠將干涉鏡前端的干涉區(qū)與下端底盤定位相連，從而使激光管及電路板發(fā)熱而引起的熱膨脹方向沿穩(wěn)定鋼珠中線向后，使得干涉鏡不受影響，保證了測(cè)量準(zhǔn)確性。

主要特性：

??一次安裝能測(cè)量6項(xiàng)精度指標(biāo)包括線性定位誤差、XX及YY兩個(gè)方向直線度、偏擺角、俯仰角、滾動(dòng)角
??把反射鏡換成五棱鏡既可測(cè)量?jī)奢S間垂直度
??兩點(diǎn)調(diào)光線.無需三腳架. 測(cè)量調(diào)整簡(jiǎn)單快速
??傳統(tǒng)激光干涉儀測(cè)量20項(xiàng)精度指標(biāo)(三軸)，約需3天的時(shí)間；API干涉儀只約需半天!
??測(cè)量直線度/小角度/垂直度/轉(zhuǎn)臺(tái)時(shí), 不怕斷光, 可當(dāng)自準(zhǔn)直儀用, 用于機(jī)床裝配調(diào)試

美國(guó)API軟件功能：

從初的系統(tǒng)校準(zhǔn)到測(cè)量結(jié)果的審查.再到機(jī)床的空間精度補(bǔ)償，API軟件 都會(huì)無微不至地協(xié)助您完成測(cè)量工作:易于使用一- 界面設(shè)計(jì)明朗，讓操作者一目了然。高效多功能一無論您測(cè)量位置度.直線度.角度、平面度甚至是空間誤差補(bǔ)償以及數(shù)控程序，XD Laser和API軟件都將伴您左右，幫助提高您的生產(chǎn)效率。

技術(shù)參數(shù)：
  5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型：
  1. 線性：0.5ppm .
  2. 測(cè)量范圍：40米(1D可選80米)
  3. 線性分辨力：0.001um.
  4. 偏擺角和俯仰角的精度：(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
  5. *大范圍：800角秒
  6. 滾動(dòng)角精度：1.0角秒
  7. 直線度精度：(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
  8. 直線度*大范圍：500um
  9. 垂直度精度：1角秒
  10. 溫度精度：0.2攝氏度
  11.濕度精度：5%
  12.壓力精度：1mmHg