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能量散射X射線熒光光譜法（EDXRF）作為鍍層厚度測量和材料分析的方法，可用來定量和定性分析樣品的元素組成，也可用于鍍層和鍍層系統的厚度測量。無論是在實驗室還是工業生產環境中，這一方法都能完美勝任，并還可以與現代化設備一起發揮作用。

原理
X射線熒光分析基于以下物理現象：樣品材料中的原子由于受到初級X射線轟擊，從而失去內層軌道中的某些電子。失去電子所留下的空穴會被外層電子來填補，在填補的過程中，會產生每個元素*的特征X射線熒光。接收器探測到該熒光射線后，便能提供樣品的材料組成等信息。

應用
由于能量色散X射線熒光光譜法可以分析材料成分和測量薄鍍層及鍍層系統，因而應用廣泛：
在電子和半導體產業里，測量觸點上薄金，鉑和鎳層厚度或痕量分析。
在鐘表和珠寶行業或采礦精煉工業中，精確分析貴金屬合金組分。
在質量管控和來料檢驗中，需要確保產品或零部件*材料設計規范。如在太陽能光伏電池產業中，光伏薄膜的成分組成和厚度大小決定了光伏電池的效率。在電鍍行業中，則需要測量大批量部件的厚度。
對于電子產品的生產者和采購者，檢驗產品是否符合《限制在電子電氣產品中使用有害物質的指令》（RoHS指令）也是十分關鍵的。
在玩具工業中，也需要有可靠的有害物質檢測手段。
對于以上測量應用，菲希爾的FISCHERSCOPE X-射線光譜儀都能完美勝任。